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コーティングに関する
さまざまな知見を活かし開発した

高品質・高速成膜が可能な
DLCコーティング装置

コーティングに関するさまざまな知見を活かし開発した高品質・高速成膜が可能なDLCコーティング装置

SMVP-1020/SPS-2020

MVP搭載DLC
コーティング装置

MVP搭載DLC コーティング装置

・iPhoneのみ対応。
・AR機能を使用時は、周囲に十分注意いただくようにお願い致します。

マイクロ波を利用したコーティング技術であるMVP法を搭載。
高密度プラズマによるDLC膜の高速外面コーティングを実現し、細穴内面へのコーティングも可能に。

MVP法(Microwave sheath-Voltage combination Plasma)による高密度プラズマにより、外面コーティングでは最大150μm/hr の超高速成膜を実現。標準的な アーク法やスパッタ法による従来機と比較して、成膜速度が30 倍から最大150 倍程度まで向上。

POINT

  • POINT 1

    内面コーティングの成膜領域拡大

    従来の技術では困難であった細穴内面のコーティングを実現し、
    φ30mm×500L㎜ やφ3mm×100L㎜などの小径穴内部への成膜品質を確保する。

    内面コーティングの成膜領域拡大内面コーティングの成膜領域拡大

    内面成膜領域内面成膜領域拡大
  • POINT 2

    少量、多品種に対応

    当社従来機より処理時間を大幅に短縮し、処理条件の切替えも容易なため、少量・多品種の処理に柔軟に対応。
    また、コンパクトな設計で、2台設置し交互運転することで生産効率がさらに向上。

    少量、多品種に対応少量、多品種に対応

ハイブリッドイオンプレーティング装置

ハイブリッドイオンプレーティング装置

高品質かつ高速なDLC成膜を実現するハイブリッドイオンプレーティング装置

真空中で、イオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と、プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により、多様な膜種が成膜可能であり、硬さや膜厚などの成膜品質も向上。

高速DLC成膜が可能に高速DLC成膜が可能に

POINT

  • POINT 1

    高速DLC成膜が可能に

    大電流のHCD式プラズマガンを2基搭載し、高密度なイオンビームを照射して、イオン化率を上昇させることで、DLC成膜速度を従来機対比で約1.5倍まで向上させ、生産効率を改善。

    高速DLC成膜が可能に高速DLC成膜が可能に
    安定した成膜品質安定した成膜品質拡大
  • POINT 2

    安定した成膜品質

    当社独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により、装填される
    ワーク間での膜厚などのバラつきを抑え、安定した成膜品質を確保する。

    安定した成膜品質安定した成膜品質

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